SIFAT TERMAL DAN ANALISIS KOMPOSISI MATERIAL BARIUM ZIRKONIUM TITANAT (BZT) DENGAN DOPING LANTANUM DAN INDIUM

Material Barium Zirkonium Titantat(BZT)dibuat menggunakan metode sol gel yang dilanjutkan dengan Spin Coating pada substrat Silikon. Untuk mendapatkan material Barium Zirkonium Titantat (BZT)dalam bentuk serbuk dilakukan pemanasan menggunakan hotplate pada suhu 90oC hingga larutan BZT berubah menjadi serbuk. Selanjutnya untuk menumbuhkan lapisan BZT pada substrat, dilakukan metode spin coating yang dilanjutkan proses pyrolisi. Selanjutnya substrat yang telah dilapisi larutan BZT dipanaskan pada suhu 800oC selama 3 jam. Untuk mengetahui sifat termal dan kristalisasi pada BZT dilakukan Uji DTA/TGA. Pengujian EDAX dilakukan untuk mengetahui komposisi lapisan BZT yang telah terdeposisi pada substrat. Dari hasiluji DTA/TGA terlihat bahwa proses kristalisasi BZT mulai terjadi pada suhu 400oC dan proses endotermik dari BZT terjadi pada suhu 463oC. Hasil uji EDAX komposisi unsur Barium, Titanium, serta doping Lantanum dan Indium telah terdeposisi pada subtrat silikon, serta dari hasil tersebut dapat disumpulkan kristal BZT dengan doping La dan In telah berhasil di deposisi dan ditumbuhkan pada substrat Si.


Alt. Description

Barium Zirconium Titantate (BZT) material was carried out using Sol gel method followed by Spin Coating on the silicon substrate. Barium Zirconium Titantate (BZT) powder was heated using a hotplate at a temperature of 90oC until the BZT solution turns into powder. A spin coating method was followed by pyrolysis process was carried out to grown BZT layer on substrate. Furthermore, the substrate that has been coated with BZT solution is heated at 800oC for 3 hours. DTA / TGA was performed to find out the thermal and crystallization properties in BZT. EDAX testing was performed to determine the composition of the deposited BZT layer on the substrate. The DTA / TGA test shows that the crystallization process of BZT starts at 400oC and the endothermic process of BZT occurs at 463oC. EDAX result showed that elements of Barium, Titanium, and doped Lanthanum and Indium have been deposited on silicon substrate. From the results that BZT crystall with doping La and In has been successfully deposited and grown on Si substrate.

1.  UEU-Journal-17410-B4-3463-10457-1-PB.Image.Marked.pdf - 437 KB

• ANALISA RIETVIELD PADA MATERIAL BARIUM ZIRKONIUM TITANAT
• PROFIL RINGKASAN LITABMAS : PENGEMBANGAN PEMODELAN ANALITIK SIFAT KARAKTERISTIK FERROELEKTRIK MATERIAL NON PB UNTUK APLIKASI KAPASITOR (TAHUN KE 2 DARI 2 TAHUN)
• PROFIL RINGKASAN LITABMAS : PENGEMBANGAN PEMODELAN ANALITIK SIFAT KARAKTERISTIK FERROELEKTRIK MATERIAL NON PB UNTUK APLIKASI KAPASITOR (TAHUN KE 1 DARI 2 TAHUN)